大型アルミナセラミック部品

アルミナセラミックスと炭化ケイ素セラミックスはいずれも、緻密性、高硬度、高耐摩耗性を有するとともに、良好な耐熱性、優れた機械的強度、良好な絶縁性、高温環境下での良好な耐食性などの物性を備えています。半導体装置のロボットアームの製造に最適な材料です。材料特性の観点からは、炭化ケイ素セラミックスの方がセラミックマニピュレータの製造に適していますが、材料価格や加工難易度などの経済性の観点からは、アルミナセラミックマニピュレータの方がコスト効率が優れています。